在本文中，研究了薄 Au-Sn 层形态对激光诱导合金纳米颗粒（ANP）形成的影响。此外，还分析了薄膜中随时间观察到的成分变化。研究了沉积速率和元素组成的影响。测试对五组不同 Au-Sn 原子比和薄膜厚度的样品进行，并使用光谱椭圆光度技术 (SE) 测量其光学参数。使用纳秒 Yb: 玻璃纤维激光器对样品进行去湿。使用扫描电子显微镜（SEM）对所有制造的表面进行分析。此外，使用X射线光电子能谱（XPS）和透射电子显微镜（TEM）分析了所得结构的化学成分。

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