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AZO(ZnO:Al)透明导电薄膜的合成及应用进展
Materials ( IF 3.1 ) Pub Date : 2023-08-09 , DOI: 10.3390/ma16165537 Dingyi Zhang 1 , Wenhe Yu 1 , Lu Zhang 2 , Xiangyang Hao 1
Materials ( IF 3.1 ) Pub Date : 2023-08-09 , DOI: 10.3390/ma16165537 Dingyi Zhang 1 , Wenhe Yu 1 , Lu Zhang 2 , Xiangyang Hao 1
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由于新型铝掺杂氧化锌（AZO）薄膜性能优异且成本低廉，有望取代成熟的掺铟氧化锡（ITO）薄膜。本文综述了AZO透明导电薄膜的研究现状和进展。此外，还详细介绍了AZO薄膜的结构、光电性能和导电机制。重点讨论了薄膜的主要制备工艺及各工艺方法的优缺点，并阐述了其应用领域。具有多元复合结构的AZO薄膜是透明导电氧化物（TCO）薄膜有前景的发展方向之一。各种制备工艺的发展促进了薄膜的大规模生产和应用。最后提出了一些改进方案以提高薄膜的综合性能。讨论了AZO薄膜的产业化前景以及其在数字领域的巨大发展潜力。
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更新日期：2023-08-09
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