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薄膜 PMUT:40 多年研究回顾
Microsystems & Nanoengineering ( IF 7.3 ) Pub Date : 2023-07-21 , DOI: 10.1038/s41378-023-00555-7
Kaustav Roy 1, 2 , Joshua En-Yuan Lee 3 , Chengkuo Lee 1, 2
Affiliation  

薄膜PMUT一直是微超声专家的重要研究课题,本文对其研究进展进行简要回顾。通过严格的调查、审视和感知,确定该领域的工作始于近 44 年前,当时功能性压电薄膜材料的原始发展已开始。迄今为止,共有三大公司将薄膜 PMUT 大规模商业化。此次商业化体现了 4 大洲 70 多个不同中心、研究机构和机构对这些设备的设计、制造和功能的巨大发展做出的广泛贡献。这篇评论以简短而全面的方式涵盖了这些重要的贡献;特别是,本文向读者介绍了全球 PMUT 前景、其主导设计原则、制造方法、非常规但有用的 PMUT 设计以及分类应用。描述和讨论了 PMUT 中使用的薄膜压电材料的重要比较图及其明确的目标应用,以启发任何计划使用 PMUT 的 MEMS 设计人员。此外,每个相关部分都根据作者过去在该研究领域的知识和专业知识以及仔细的文献调查结果,对未来做出了清晰的预测。简而言之,对于有兴趣了解这些小型设备的任何人来说,这篇评论都是一站式、省时的指南。





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更新日期:2023-07-21
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