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晶圆级玻璃中介层封装成型翘曲的优化
Journal of Materials Science: Materials in Electronics ( IF 2.8 ) Pub Date : 2023-04-28 , DOI: 10.1007/s10854-023-10475-x
Shuchao Bao , Wei Li , Yimin He , Yi Zhong , Long Zhang , Daquan Yu
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更新日期:2023-04-29
Journal of Materials Science: Materials in Electronics ( IF 2.8 ) Pub Date : 2023-04-28 , DOI: 10.1007/s10854-023-10475-x
Shuchao Bao , Wei Li , Yimin He , Yi Zhong , Long Zhang , Daquan Yu
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玻璃通孔 (TGV) 技术具有出色的电学/光学性能、良好的机械稳定性和低成本,在先进电子封装和集成无源器件的各种应用中具有巨大潜力。尽管如此,TGV 封装的制造经常受到模塑翘曲的阻碍,这是由半导体、金属和模塑化合物等封装材料之间较大的热膨胀系数 (CTE) 不匹配引起的。这种翘曲不仅会在后续制造过程中造成麻烦,还会降低最终器件或封装的性能和可靠性。本研究通过有限元模拟和实验研究了最先进的 2.5D 玻璃中介层封装在成型过程中的翘曲特性。建立了一个单元模型来均匀化微凸块、底部填充和重新分布层 (RDL),以简化封装结构。提出了一种基于 TGV 和成型的晶圆级玻璃中介层封装工艺。通过激光辅助方法测量翘曲值,模拟值与实验测量值吻合良好。此外,还探讨了不同成型材料和玻璃材料对翘曲的影响。本研究提供了一种可行的方法来预测晶圆级成型翘曲并优化工艺参数以减少翘曲并提高封装可靠性。通过激光辅助方法测量翘曲值,模拟值与实验测量值吻合良好。此外,还探讨了不同成型材料和玻璃材料对翘曲的影响。本研究提供了一种可行的方法来预测晶圆级成型翘曲并优化工艺参数以减少翘曲并提高封装可靠性。通过激光辅助方法测量翘曲值,模拟值与实验测量值吻合良好。此外,还探讨了不同成型材料和玻璃材料对翘曲的影响。本研究提供了一种可行的方法来预测晶圆级成型翘曲并优化工艺参数以减少翘曲并提高封装可靠性。

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