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CMOS 晶圆上的低温 MoS2 生长
Nature Nanotechnology ( IF 38.1 ) Pub Date : 2023-04-27 , DOI: 10.1038/s41565-023-01390-7 Max C Lemme 1 , Alwin Daus 2
Nature Nanotechnology ( IF 38.1 ) Pub Date : 2023-04-27 , DOI: 10.1038/s41565-023-01390-7 Max C Lemme 1 , Alwin Daus 2
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已经证明了二硫化钼在 275 °C 下的生长以及二维晶体管与硅互补金属氧化物半导体电路的单片集成。
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更新日期:2023-04-28
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