本综述概述了具有最新模型的溅射基本理论，特别关注溅射原子能量分布函数。介绍了诸如蒙特卡洛、动力学蒙特卡洛和经典分子动力学模拟等分子模型，因为它们能够根据需要在原子和分子尺度上描述溅射沉积所涉及的各种过程。溅射等离子体、溅射机制、溅射材料的传输及其导致薄膜生长的沉积可以使用这些分子模拟来解决。在所有情况下，都强调了基本方法和一些选定的机制。

图形摘要

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