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浮线辅助蒸汽等离子体表面改性三元金属碳化物 TiAlC 的干法刻蚀
Scientific Reports ( IF 3.8 ) Pub Date : 2022-11-27 , DOI: 10.1038/s41598-022-24949-1
Thi-Thuy-Nga Nguyen 1 , Kazunori Shinoda 2 , Hirotaka Hamamura 2 , Kenji Maeda 3 , Kenetsu Yokogawa 3 , Masaru Izawa 3 , Kenji Ishikawa 1 , Masaru Hori 1
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更新日期：2022-11-27
Scientific Reports ( IF 3.8 ) Pub Date : 2022-11-27 , DOI: 10.1038/s41598-022-24949-1
Thi-Thuy-Nga Nguyen 1 , Kazunori Shinoda 2 , Hirotaka Hamamura 2 , Kenji Maeda 3 , Kenetsu Yokogawa 3 , Masaru Izawa 3 , Kenji Ishikawa 1 , Masaru Hori 1
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三元金属碳化物的干法刻蚀 TiAlC 首先是通过使用浮线 (FW) 辅助 Ar/氢氧化铵蒸气等离子体从湿法刻蚀转移到干法刻蚀而开发的。在中压下产生的 FW 辅助非卤素蒸气等离子体可以产生高密度反应性自由基（NH、H 和 OH），用于 TiAlC 表面改性，如氢化和甲胺化。从改性层形成挥发性产物，考虑了 TiAlC 干法蚀刻的拟议机制。
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