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氧化锌的原子层沉积：第一原理的二乙基锌反应和表面饱和
The Journal of Physical Chemistry C ( IF 3.3 ) Pub Date : 2016-09-14 00:00:00 , DOI: 10.1021/acs.jpcc.6b06141 Timo Weckman 1 , Kari Laasonen 1
The Journal of Physical Chemistry C ( IF 3.3 ) Pub Date : 2016-09-14 00:00:00 , DOI: 10.1021/acs.jpcc.6b06141 Timo Weckman 1 , Kari Laasonen 1
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在过去的几年中，通过原子层沉积生长的氧化锌薄膜一直受到广泛的研究。在这里，我们提出了关于氧化锌原子层沉积的综合密度泛函理论研究。在理想的（100）ZnO表面以及阶梯表面上研究了二乙基锌的吸附和随后的表面反应，以比较理想表面和非理想表面的结构。我们的结果表明，二乙基锌在表面上吸附并迅速反应形成单乙基锌。我们的计算还表明，初始的配体交换反应在台阶表面上的平面上是优选的。从单乙基锌到吸附的锌原子的进一步反应具有很高的反应势垒。
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更新日期：2016-09-14
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