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世界最大碳化硅非球面镜高精度制造的挑战与对策
Light: Science & Applications ( IF 20.6 ) Pub Date : 2022-10-26 , DOI: 10.1038/s41377-022-00994-3
Xuejun Zhang 1, 2 , Haixiang Hu 1, 2 , Xiaokun Wang 1, 2 , Xiao Luo 1 , Ge Zhang 1 , Wenxing Zhao 1 , Xiaoyi Wang 1 , Zhenyu Liu 1 , Ling Xiong 1 , Erhui Qi 1 , Congcong Cui 1 , Yanchao Wang 1 , Yingjie Li 1 , Xu Wang 1 , Longxiang Li 1 , Yang Bai 1 , Qiang Cheng 1 , Zhiyu Zhang 1 , Ruigang Li 1 , Wa Tang 1 , Xuefeng Zeng 1 , Weijie Deng 1 , Feng Zhang 1
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在制造世界上最大的碳化硅(SiC)非球面镜的过程中,主要的困难是镜坯制备、非球面制造和测试,以及熔覆和涂层。具体来说,挑战包括复杂结构铸件的均匀性、制造过程的精度和效率、透印效果、测试程序的保真度和精度、熔覆过程的应力和致密性、干涉测量的动态范围和空气湍流由于光路长而产生的误差。为突破这一难关,我们提出了水溶性室温消失模和凝胶浇注技术、均质微结构反应形成接头技术、纳米精度高效复合制造、重力卸载技术、 4.03 米。SiC 非球面镜令人印象深刻的性能通过制造的 SiC 非球面镜的特性得到验证。SiC毛坯的空气密度小于120 kg/m 2,表面形状测试精度优于6 nm RMS,熔覆层厚度不均匀性小于5%,最终表面图形误差和粗糙度为15.2 nm RMS 和 0.8 nm RMS,分别。





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更新日期:2022-10-27
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