当前位置：
X-MOL 学术
›
Micromachines
›
论文详情
Our official English website, www.x-mol.net, welcomes your
feedback! (Note: you will need to create a separate account there.)
热熔纳米玻璃粉与不同基材的润湿机理研究
Micromachines ( IF 3.0 ) Pub Date : 2022-10-06 , DOI: 10.3390/mi13101683 Yifang Liu 1, 2 , Junyu Chen 1, 2 , Gaofeng Zheng 1, 2
Micromachines ( IF 3.0 ) Pub Date : 2022-10-06 , DOI: 10.3390/mi13101683 Yifang Liu 1, 2 , Junyu Chen 1, 2 , Gaofeng Zheng 1, 2
Affiliation
熔融玻璃粉末的润湿性在以玻璃浆为中间层的微机电系统 (MEMS) 器件的封装中起着至关重要的作用。在本研究中，我们首先通过 COMSOL 模拟研究了纳米玻璃粉末在高温下熔融的流动过程。热熔玻璃不同粘度对其对SiO 2润湿性的影响及热熔玻璃对Au金属铅和SiO 2润湿性的比较通过仿真研究。然后，在实验中，由于具有良好的润湿性，热熔玻璃沿着金电极的长度方向飞扬和扩散，导致金电极上的热熔玻璃几乎没有覆盖，只有500 nm的高度。为了降低玻璃浆料对Au电极的润湿性，采用化学气相沉积法在金铅表面生长一层SiO 2隔离层。它成功地降低了润湿性，因此热熔玻璃的厚度增加到 1.95 μm。这再次证明了热熔玻璃对Au的润湿性更好。
"点击查看英文标题和摘要"
更新日期：2022-10-06
"点击查看英文标题和摘要"
京公网安备 11010802027423号