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聚(苯乙烯-b-醋酸乙烯酯)嵌段共聚物在化学图案上的定向自组装通过热退火实现亚 10 nm 纳米图案化
Polymer ( IF 4.1 ) Pub Date : 2022-08-29 , DOI: 10.1016/j.polymer.2022.125277
Hanwen Lai , Xiaohui Zhang , Guangcheng Huang , Yadong Liu , Weihua Li , Shengxiang Ji

嵌段共聚物 (BCP) 的定向自组装 (DSA) 是制造用于半导体器件的亚 10 nm 特征的有效方法。尽管已经为 DSA 开发了许多高 χ BCP,但它们中的大多数在两个块之间的表面能 (γs) 上存在显着差异。在这里,我们报告了聚(苯乙烯-b-醋酸乙烯酯)(PS- b - PVAc)的合成和自组装。PS- b - PVAc 具有比聚(苯乙烯-b-甲基丙烯酸甲酯)(PS- b -PMMA)更高的 Flory-Huggins 相互作用参数(χ)和最小可实现周期(L O) 为 18.2 纳米。PS 和 PVAc 具有几乎相等的 γs 并且在热退火下在无规共聚物刷上获得垂直取向的畴。PS- b -PVAc(SV-1 和 SV-2)的 DSA 成功地在化学图案上的薄膜中得到证明,并且在 SV-4 的 DSA 中通过 2 倍密度倍增获得了低至 9.5 nm 的特征尺寸。这些结果表明 PS- b - PVAc 可能是下一代 DSA 光刻的候选 BCP。





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更新日期:2022-09-02
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