在本文中，SP4T（单刀四掷）型射频 MEMS 开关专为卫星应用而设计。开关的光束厚度在 1 μm、1.5 μm 和 2 μm 之间变化。电容式和串联梁设计有 3 种型号。该器件是由4个电容开关和4个串联开关组成的串联和并联组合。通过使用 COMSOL Multiphysics 工具，我们获得了串联开关的吸合电压为 8.9 V，并联开关的吸合电压为 10 V，梁厚为 1 μm，相关电容比为 112。使用 HFSS 方法，发现了性能分析在 62 dB 和 14 GHz 时实现 0.4 dB 的隔离和插入损耗。

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