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激光重复率对脉冲激光沉积 Sc2O3 生长的影响
Applied Physics A ( IF 2.5 ) Pub Date : 2022-06-15 , DOI: 10.1007/s00339-022-05698-4
Goby A. Govindassamy , Jake J. Prentice , James. G. Lunney , Robert W. Eason , Jacob I. Mackenzie

本文报道了激光脉冲重复率和衬底温度对晶体 Sc 2 O 3性能影响的研究。通过脉冲激光沉积 (PLD) 在 <0001> 取向的蓝宝石上生长的薄膜。对于所研究的衬底激光加热功率范围,在 100 Hz 的最高可用重复频率下获得了最佳的 <111> 薄膜生长。扫描电子显微镜和 X 射线衍射测量表明,重复率的降低有利于高度纹理化/岛状生长。重复率也被证明会影响薄膜的晶格常数,在高重复率和低重复率下生长的薄膜之间的差异高达 0.3%。总体趋势表明,当脉冲重复率增加时,薄膜的面外晶格常数向体值靠拢。然而,晶格常数也可以通过原位生长后退火来降低,这具有减少(222)摇摆曲线峰宽度的额外好处。这项工作提供了进一步的证据,即高能 PLD 动力学导致更高质量的 PLD 生长晶体薄膜,并且这种材料破坏了较低脉冲重复率导致更高质量薄膜晶体生长的古老格言。





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更新日期:2022-06-16
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