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原子层沉积 (ALD) 模板法合成氧化锆和铪管
ECS Transactions Pub Date : 2019-12-18 , DOI: 10.1149/1.2979990
Tarek M. Abdel-Fattah 1 , Diefeng Gu 2 , H. Baumgart 2 , Gon Namkoong 2
ECS Transactions Pub Date : 2019-12-18 , DOI: 10.1149/1.2979990
Tarek M. Abdel-Fattah 1 , Diefeng Gu 2 , H. Baumgart 2 , Gon Namkoong 2
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通过原子层沉积 (ALD) 在阳极氧化铝 (AAO) 模板的孔内制备高度有序的氧化锆和氧化铪纳米管。扫描电子显微镜 (SEM) 和能量色散光谱 (EDS) 用于表征不同的形态和元素组成以及整个样品横截面的 EDS 映射。AAO 通道的直径范围为 200 nm，厚度为 60 μm。氧化铪和氧化锆纳米管的长度和直径取决于孔径、应用的 AAO 模板的厚度和 ALD 沉积时间。结果表明，在 AAO 模板的孔中，管非常均匀地组装并相互平行。
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更新日期：2019-12-18
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