当前位置: X-MOL 学术Plasma Chem. Plasma Proc. › 论文详情
Our official English website, www.x-mol.net, welcomes your feedback! (Note: you will need to create a separate account there.)
空气中钛激光烧蚀纳米多孔氧化钛的表面结构和反向沉积
Plasma Chemistry and Plasma Processing ( IF 2.6 ) Pub Date : 2022-05-18 , DOI: 10.1007/s11090-022-10256-0
V. P. Veiko , Yu Yu Karlagina , A. A. Samokhvalov , D. S. Polyakov , S. S. Manokhin , M. M. Radaev , G. V. Odintsova , I. B. Gornushkin

已经对空气中钛激光烧蚀过程中钛氧化物的沉积进行了实验和数值研究。钛样品由来自 Yb 光纤激光器的纳秒脉冲照射,光束扫描样品表面以进行纹理化。结果,观察到的分层结构由激光烧蚀形成的微浮雕和激光诱导等离子体羽流反向沉积形成的纳米多孔涂层组成。使用扫描电子显微镜、原子力显微镜和 X 射线显微分析研究了纳米多孔涂层的化学和相组成,以及表面的形态和结构。发现沉积物主要由孔隙率为 26% 的多孔 TiO 2和 TiO、Ti 2夹杂物组成。O 3和Ti 2 O 3N. 发射光谱用于控制等离子体成分和估计等离子体羽流的有效温度。开发了激光诱导等离子体的化学流体动力学模型,以更深入地了解沉积过程。该模型预测,在等离子羽流演化过程中,在外围等离子区中形成的凝聚态氧化钛会逐渐积聚在表面。证明了等离子体羽流的实验和计算的化学成分之间以及实验和计算的组成与沉积膜厚度之间的令人满意的一致性。这可以得出一个谨慎的结论,即等离子体中凝聚氧化物的形成及其随后在烧蚀表面上的沉积是多孔表面膜形成的关键机制之一。





"点击查看英文标题和摘要"

更新日期:2022-05-18
down
wechat
bug