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溶胶-凝胶衍生 PZT 薄膜表面层的 XPS 分析
Journal of the European Ceramic Society ( IF 5.8 ) Pub Date : 2004-01-01 , DOI: 10.1016/s0955-2219(03)00590-9
O Sugiyama
Journal of the European Ceramic Society ( IF 5.8 ) Pub Date : 2004-01-01 , DOI: 10.1016/s0955-2219(03)00590-9
O Sugiyama
通过 X 射线光电子能谱 (XPS) 成功地分析了溶胶-凝胶衍生的锆钛酸铅 (PZT) 薄膜的晶相和组成。结晶相由 Zr3d 光电子光谱的反卷积确定，其中结合能反映了与相邻离子的距离。通过使用校准方程估计组成，该校准方程由光电子强度和离子摩尔比之间的关系推导出来。发现厚度为几十纳米的表面层在晶体学和组成上与薄膜内部不同；它们由菱面体相组成，其中Pb和Ti含量低于内部。
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更新日期：2004-01-01
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