JSM-6700F扫描电子显微镜（SEM）上安装了新开发的冷FE-GUN，使我们能够获得大的探针电流和低发射噪声，锥形强激发物镜。在 0.5 到 15kV 的加速电压范围内，与透镜内型 SEM 相比，该仪器具有更好的分辨率（Ohyama 等人 1986）（图 1）。我们可以通过大样本（ex. 150mm φ×10mmH）获得高分辨率的二次电子图像。我们的旧物镜（Kazumori et al 1994）有工作距离（WD）的限制，但新物镜使我们能够工作在 15kV 的加速电压下非常短的 WD。因此，在 WD 为 3mm 时，球差 (Cs) 和色差 (Cc) 常数分别为 1.9mm 和 1.7mm。为了获得大的探头电流，



"点击查看英文标题和摘要"