原子探针断层扫描 (APT) 是一种超高分辨率显微分析技术，能够确定小体积材料中原子的空间坐标和元素特性。可分析的样本体积通常为 10 到 20 纳米，深度 100 到 250 纳米，包含多达 100 万个原子。然后可以从这些数据重建该体积内溶质原子的分布。小体积的组成是通过简单地计算该体积内每种类型的原子数来确定的，因此该技术提供了局部浓度的基本测量。原子探针断层扫描要求样品具有一定的导电性，并且可以应用于几乎所有的金属和合金、许多半导体和一些导电陶瓷。



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