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KrF准分子激光对(111)、(110)、(100)面CaF2单晶的损伤及其机理
Applied Surface Science ( IF 6.3 ) Pub Date : 2022-02-03 , DOI: 10.1016/j.apsusc.2022.152716 Jingzhen Shao 1, 2 , Xu Liang 1, 2 , Ying Lin 1, 2 , Shimao Wang 1, 2 , Zanhong Deng 1, 2 , Gang Meng 1, 2 , Xiaodong Fang 1, 3
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更新日期:2022-02-03
Applied Surface Science ( IF 6.3 ) Pub Date : 2022-02-03 , DOI: 10.1016/j.apsusc.2022.152716 Jingzhen Shao 1, 2 , Xu Liang 1, 2 , Ying Lin 1, 2 , Shimao Wang 1, 2 , Zanhong Deng 1, 2 , Gang Meng 1, 2 , Xiaodong Fang 1, 3
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CaF 2晶体一般具有萤石型晶体结构,解理面为{111},滑移系为{100}<110>。不同晶面的力学性能明显不同。在本研究中,对CaF 2晶体的三个不同晶面(100)、(110)和(111)进行了248 nm KrF准分子激光损伤实验。获得了激光损伤阈值,分析了晶面与损伤特性的关系。我们的工作亮点是通过分析晶面、解理面和滑移面之间的关系,总结了(111)、(110)和(100)晶面表面形貌的形成机制。
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