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晶格畸变或鸡尾酒效应支配着钽基高熵氮化物涂层的性能
Applied Surface Science ( IF 6.3 ) Pub Date : 2021-11-16 , DOI: 10.1016/j.apsusc.2021.151894 Ching-Chun Chang, Yu-Ting Hsiao, Yu-Lin Chen, Cheng-Yuan Tsai, Ya-Jing Lee, Ping-Hsu Ko, Shou-Yi Chang
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更新日期:2021-11-16
Applied Surface Science ( IF 6.3 ) Pub Date : 2021-11-16 , DOI: 10.1016/j.apsusc.2021.151894 Ching-Chun Chang, Yu-Ting Hsiao, Yu-Lin Chen, Cheng-Yuan Tsai, Ya-Jing Lee, Ping-Hsu Ko, Shou-Yi Chang
为了了解晶格畸变和鸡尾酒效应的主导作用,以适当的元素选择和多元保护硬涂层的乐观设计,在本研究中,四组Ta基高熵氮化物涂层,包括(AlCrTa 2 TiZr )N x,( HfNbTaTiZr)N x、(MoNbTaTiZr)N x和 (Al 2 Cr 2 HfMoNbTa)N x,通过在 N 2 中溅射沉积+Ar 混合气氛。研究了涂层的结构、力学性能、耐磨性和抗氧化性,并研究了不同组成金属元素对其性能的作用。实验结果表明,与传统的氮化物涂层类似,金属元素的溅射产额和再溅射损失决定了化学成分。虽然多种金属元素的高混合熵产生了固溶体结构,但 N 2总流量比主导了薄膜结构和生长方向。无论添加哪种金属元素,一定程度的晶格畸变都会产生类似的高机械性能,但成分的鸡尾酒效应决定了涂层的摩擦学和抗氧化性。
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