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声学微型泵用厚度振动模式PZT换能器的特性
Sensors and Actuators A: Physical ( IF 4.1 ) Pub Date : 2021-11-06 , DOI: 10.1016/j.sna.2021.113206 Hao Yun 1 , Deqing Kong 1 , Manabu Aoyagi 1
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更新日期:2021-11-07
Sensors and Actuators A: Physical ( IF 4.1 ) Pub Date : 2021-11-06 , DOI: 10.1016/j.sna.2021.113206 Hao Yun 1 , Deqing Kong 1 , Manabu Aoyagi 1
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用于声学微型泵的厚度振动模式 PZT 换能器的特性通过 U 形管结构进行评估。利用声学驱动力使U形管内水位高度升高的现象,开发了PZT换能器驱动的声学微型泵的输出压力和流量的测量方法。测量结果表明,当PZT换能器施加68~105 V pp的输入电压且水位高度为30 °时,输出压力从22.6 Pa增加到37.6 Pa,流量从3.6增加到6.4 ml/min。 PZT 换能器上方 cm。为了讨论背压的影响, 测量了31厘米和 32厘米水高处的压力和流量输出特性,以便与 30 厘米处的进行比较。
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