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通过两步退火实现厘米级单晶层状 MoTe2 二维固相结晶
Journal of Materials Chemistry C ( IF 5.7 ) Pub Date : 2021-10-12 , DOI: 10.1039/d1tc03123f
Chih-Pin Lin , Hao-Hua Hsu , Jyun-Hong Huang , Yu-Wei Kang , Chien-Ting Wu , Yao-Jen Lee , Chun-Cheng Cheng , YannWen Lan , Wenhao Chang , Lain-Jong Lance Li , Tuo-Hung Hou

缺乏实现晶圆级均匀性和高结晶度的有效合成技术仍然是二维 (2D) 层状材料在实际应用中的主要障碍之一。二维固相结晶 (2DSPC) 是基于面积可缩放和半导体工艺兼容的溅射和热退火技术提出的。它成功地在二氧化硅非晶衬底上合成了单晶晶粒尺寸超过半厘米​​的少层2H-MoTe 2。通过在惰性气氛中进行两步退火工艺,可以实现极大的晶粒尺寸。高温初始快速热退火产生六方单晶 2H-MoTe 2低密度的种子和随后在低温下的长时间炉退火仅从预先存在的种子扩大了单晶畴。2DSPC机制及其形态演化分别与经典成核理论和动力学Wulff构造理论一致。我们的结果表明 2DSPC 作为合成未来晶圆级、高质量 2D 材料的简单而有效的途径具有广阔的潜力。



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更新日期:2021-10-27
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