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用于高温蓝宝石红外窗口的具有增强保护和抗反射的 SiO2/HfO2 激光薄膜
ACS Applied Electronic Materials ( IF 4.3 ) Pub Date : 2021-10-18 , DOI: 10.1021/acsaelm.1c00761 Da-Qiang Zhao 1 , Fan Xu 1, 2 , Gui-Gen Wang 1 , Si-Ying Zhang 1 , Guo-Shuang Qin 1 , Bao-Lin Wang 2 , Jie-Cai Han 1, 3
ACS Applied Electronic Materials ( IF 4.3 ) Pub Date : 2021-10-18 , DOI: 10.1021/acsaelm.1c00761 Da-Qiang Zhao 1 , Fan Xu 1, 2 , Gui-Gen Wang 1 , Si-Ying Zhang 1 , Guo-Shuang Qin 1 , Bao-Lin Wang 2 , Jie-Cai Han 1, 3
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实现蓝宝石（即Al 2 O 3单晶）红外窗口的减反射和保护是必不可少的，尤其是在高温、高能激光照射等极端环境下。在这里，双层 SiO 2 /HfO 2薄膜通过射频磁控溅射和随后的退火沉积在蓝宝石上。HfO 2薄膜在纯氧中的退火促进了结晶，以及O/Hf比的明显增加。HfO 2的影响研究了不同温度下薄膜微观结构上的夹层、粘合强度、薄膜应力、抗激光损伤、弯曲强度和红外 (IR) 透射率。HfO 2中间层的引入导致SiO 2保护层致密化，粘合强度提高，薄膜应力明显降低。观察到涂有 SiO 2薄膜的蓝宝石在高温下的弯曲强度更高，而双层 SiO 2 (670 nm)/HfO 2 (650 nm) 薄膜在以下方面优于单层 SiO 2薄膜红外高温透过率和抗激光损伤。
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更新日期：2021-10-26
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