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三甲基铝与臭氧反应机理的理论研究
ACS Omega ( IF 3.7 ) Pub Date : 2021-09-28 , DOI: 10.1021/acsomega.1c03326 Megumi Kayanuma 1 , Yoong-Kee Choe 1 , Takayuki Hagiwara 2 , Naoto Kameda 2 , Yukihiro Shimoi 1
ACS Omega ( IF 3.7 ) Pub Date : 2021-09-28 , DOI: 10.1021/acsomega.1c03326 Megumi Kayanuma 1 , Yoong-Kee Choe 1 , Takayuki Hagiwara 2 , Naoto Kameda 2 , Yukihiro Shimoi 1
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使用密度泛函理论计算详细研究了三甲基铝 (TMA, Al(CH 3 ) 3 ) 与臭氧 (O 3 ) 的反应机理，以了解形成氧化铝表面的原子层沉积过程。我们检查了 TMA 和一些可能的中间体与 O 3的反应，并揭示了形成甲氧基 (-OCH 3 )、甲酸盐 (-OCHO)、碳酸氢盐 (-CO 3 H) 和羟基 (-OH) 物质的合理途径。在以前的实验研究中已经观察到这些物种。结果表明，TMA 很容易与 O 3反应生成 Al(CH 3 ) 2 (OCH 3 )(O2 ) 中级。OCH 3和O 2基团之间的后续反应最终生成具有甲酸酯基团的中间体。当所有的 CH 3基团都转化为 OCH 3或 OCHO 时，O 3将与这些基团反应。在后一反应中，显示形成碳酸氢盐。
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更新日期：2021-10-12
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