( 2 01) β-Ga ₂ O ₃的X射线衍射扫描各向异性散装材料进行了研究。对称摇摆曲线 (RC) 沿着不同的方位角表现出明显不同的展宽，最大沿 [102]，最小沿从 [010] 旋转 30° 的方向。Williamson-Hall 分析用于研究导致这些 RC 变宽的可能因素，包括仪器因素、镶嵌倾斜和相干散射。发现 RC 加宽是由各向同性镶嵌倾斜和长度各向异性决定的，在该长度上晶体结构不受晶界或堆垛层错等限制因素破坏，我们称之为“横向限制尺寸”。在这种情况下，横向限制尺寸由沿 [102] 方向的 {200} 堆垛层错和沿 [010] 方向的晶界控制。2 01) β-Ga ₂ O ₃。



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