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XPS分析纳米晶ZnS薄膜
Surface Science Spectra Pub Date : 2002-12-01 , DOI: 10.1116/11.20030117 Davide Barreca 1 , Alberto Gasparotto 2 , Cinzia Maragno 2 , Eugenio Tondello 2 , Trevor R. Spalding 3
Surface Science Spectra Pub Date : 2002-12-01 , DOI: 10.1116/11.20030117 Davide Barreca 1 , Alberto Gasparotto 2 , Cinzia Maragno 2 , Eugenio Tondello 2 , Trevor R. Spalding 3
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使用Zn（O-iPrXan）2 [O-iPrXan = S2COCH（CH3）2]作为单源前体化合物，通过化学气相沉积（CVD）合成了纳米晶体ZnS薄膜。涂层在200至450°C的N2气氛中沉积在二氧化硅衬底上，随后通过掠入射X射线衍射（GIXRD），二次离子质谱（SIMS），原子力显微镜（AFM），UV-可见光吸收光谱法，X射线光电子（XPS）和X射线激发俄歇电子（XE-AES）光谱学。这项工作致力于代表性的硫化锌薄膜的XPS和XE-AES表征。除了宽扫描光谱外，还介绍并讨论了Zn 2p3 / 2，Zn 3p，Zn LMM，S 2p，O 1 s和C 1s区域的详细光谱以及相关数据。S / Zn原子比和俄歇参数评估均指出化学计量的硫化锌的形成。而且，氧和碳污染仅限于最外层的样品层。
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更新日期：2002-12-01
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