本文介绍了一种具有极高灵敏度的微型3轴加速度传感器。传感器为可变电容类型。但是，该传感器不是使用常规的可变电容器配置，而是基于可变的超级电容器（或超级电容器）。极小的电解质滴位于以立方体形式排列的六个电极之间。电极的内表面涂有碳纳米管（CNT），因此，可变的超级电容器存在于六个电极中的任意两个之间。加速迫使电解质滴朝不同的方向移动并采取不同的形状，从而改变了设备中任意两个给定电极之间的电容。本文描述的原型显示电极间电容变化为7。5 $ \ mu \ text {F} $从0加速到100 g。因此，灵敏度为75 nF / g。



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