摘要 在本文中，我们报告开发了一种基于微孔亚铬酸铜 (CuCr2O4) 厚膜的电容式湿度传感器，该传感器在室温下 1%–98% RH 范围内表现出出色的响应。CuCr2O4 尖晶石纳米粉体是通过简便的溶胶-凝胶技术合成的。将制备的 CuCr2O4 纳米粉末丝网印刷成厚膜，并将其夹在银和铜的两个平行电极之间，形成平行板电容传感器。CuCr2O4 纳米颗粒和厚膜通过 XRD、XPS、FTIR 光谱、拉曼光谱、FESEM、TEM、EDX 和接触角测量得到了很好的表征。传感器的各种电气参数，即。电容 (Cp)、耗散 (D)、电导 (Gp)、电纳 (Bp)、和导纳 (Y) 在 100 Hz 至 1 MHz 的不同频率下测量。据观察，最佳工作频率为 1 kHz。在该频率下，传感器表现出非常高的灵敏度，尤其是在 1%–40% 的低 %RH 范围内（电容变化约 640 pF）、低耗散损耗（



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