摘要 近年来，XPS 在常压条件下的应用越来越广泛。当光电子穿过气体到达光谱仪时，由散射效应引起的光谱失真会导致光谱解释出现问题。在本文中，我们提出了一种纠正方法。我们使用 QUASES 软件，其中非弹性电子散射的横截面是一个基本参数。为了确定这一点，我们分析了在 5 mbar N2 气压下采集的纯金箔光谱，并将其与真空条件下采集的金箔光谱进行了比较，并构建了一个完全解释气体引起的变形的横截面。然后通过首先应用相同的横截面来校正在 0.85 – 5.0 毫巴范围内的 N2 气体压力下拍摄的光谱来验证该程序。气体的有效厚度是唯一可调节的参数，并且发现校正光谱与所有气压的未失真金参考光谱完全一致。接下来，发现这些确定的有效厚度完全线性地依赖于气压。这两个测试证明了该方法的有效性。



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