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低能离子散射 (LEIS) 及其应用最新进展综述
Microscopy and Microanalysis ( IF 2.9 ) Pub Date : 2016-07-01 , DOI: 10.1017/s1431927616002646
Philipp Brüner , Thomas Grehl , Hidde H. Brongersma , Ewald Niehuis

低能离子散射 (LEIS) 允许以仅最顶层原子层的灵敏度分析材料表面。在 LEIS 实验中,能量为几 keV 的惰性气体离子从样品表面散射。离子在散射过程中的能量损失取决于散射体的质量,因此通过记录背散射离子的能量损失谱,可以得到样品表面的定量元素组成。由于散射在更深原子层中的离子被有效地中和并通过核和电子停止而失去额外的能量,因此可以将来自第一原子层的散射与次表面散射区分开来 [1]。这种水平的表面灵敏度是 LEIS 独有的,可为各种样品系统提供有价值的信息。



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更新日期:2016-07-01
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