扫描电子显微镜 (SEM) 是在真空条件下获取微纳米结构表面信息的有力工具。最近，已经研究了在大气压下在扫描电子显微镜 (SEM) 中观察样品的方法。日立先前发布了一种新型大气扫描电镜 (ASEM) 技术，用于观察环境空气条件下的样品，并通过膜将其与电子枪隔开 [1]。样品室中的环境可以保持在环境空气条件下，而电子源保持在真空中（图 1（a））。通过使用该系统，可以观察湿样品、液体样品甚至散装样品。虽然在膜和样品表面之间的优化距离处可以清楚地观察到湿材料，与传统的高真空 SEM 图像相比，在大气中拍摄的典型 ASEM 图像失真更大。ASEM 图像出现“模糊”的原因是由于电子束被空气分子散射，如图 1（b）所示。为了解决这个问题，已经开发出减少电子散射效应的方法 [2, 3]。在这里，我们提出了一种用于 ASEM 图像改进的图像增强算法（电子散射校正器：ES-Corrector）。使用 ES-Corrector 函数可以改善由散射电子产生的模糊图像，如图 2 所示，在大气压下收集的日本萝卜叶表面。ES-Corrector 恢复的图像在清晰度和边缘锐度方面有很大改进。ASEM 图像出现“模糊”的原因是由于电子束被空气分子散射，如图 1（b）所示。为了解决这个问题，已经开发出减少电子散射效应的方法 [2, 3]。在这里，我们提出了一种用于 ASEM 图像改进的图像增强算法（电子散射校正器：ES-Corrector）。使用 ES-Corrector 函数可以改善由散射电子产生的模糊图像，如图 2 所示，在大气压下收集的日本萝卜叶表面。ES-Corrector 恢复的图像在清晰度和边缘锐度方面有很大改进。ASEM 图像出现“模糊”的原因是由于电子束被空气分子散射，如图 1（b）所示。为了解决这个问题，已经开发出减少电子散射效应的方法 [2, 3]。在这里，我们提出了一种用于 ASEM 图像改进的图像增强算法（电子散射校正器：ES-Corrector）。使用 ES-Corrector 函数可以改善由散射电子产生的模糊图像，如图 2 所示，在大气压下收集的日本萝卜叶表面。ES-Corrector 恢复的图像在清晰度和边缘锐度方面有很大改进。在这里，我们提出了一种用于 ASEM 图像改进的图像增强算法（电子散射校正器：ES-Corrector）。使用 ES-Corrector 函数可以改善由散射电子产生的模糊图像，如图 2 所示，在大气压下收集的日本萝卜叶表面。ES-Corrector 恢复的图像在清晰度和边缘锐度方面有很大改进。在这里，我们提出了一种用于 ASEM 图像改进的图像增强算法（电子散射校正器：ES-Corrector）。使用 ES-Corrector 函数可以改善由散射电子产生的模糊图像，如图 2 所示，在大气压下收集的日本萝卜叶表面。ES-Corrector 恢复的图像在清晰度和边缘锐度方面有很大改进。



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