当前位置：
X-MOL 学术
›
Micromachines
›
论文详情
Our official English website, www.x-mol.net, welcomes your
feedback! (Note: you will need to create a separate account there.)
MEMS悬浮电感在机械冲击下的性能变化机理分析。
Micromachines ( IF 3.0 ) Pub Date : 2019-10-17 , DOI: 10.3390/mi10100686 Yiyuan Li 1 , Lixin Xu 1 , Jianhua Li 1
Micromachines ( IF 3.0 ) Pub Date : 2019-10-17 , DOI: 10.3390/mi10100686 Yiyuan Li 1 , Lixin Xu 1 , Jianhua Li 1
Affiliation
由于其出色的射频性能，近几十年来，微机电系统（MEMS）悬浮电感器已经得到了广泛的研究。但是，当电感器受到机械冲击时，MEMS悬浮电感器通常会发生电感器线圈的变形和性能变化。关于MEMS悬浮电感在冲击下的性能变化，很少进行研究。本文通过理论分析与实验相结合的方法，分析了MEMS悬浮电感在机械冲击下性能变化的机理。提出了基于集总等效模型的理论分析，并进行了冲击试验。冲击测试表明，机械冲击后MEMS悬浮电感性能变化的主要原因是衬底寄生效应的变化，这是由冲击后电感悬浮高度的变化引起的。测试结果与理论分析相吻合。
"点击查看英文标题和摘要"
更新日期：2019-11-01
"点击查看英文标题和摘要"
京公网安备 11010802027423号