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NanoRes.[器件]│南洋理工大学Prof. Ang Diing Shenp课题组:哺乳动物感光细胞启发的动态机器视觉传感器

本篇文章版权为Ang Diing Shenp所有,未经授权禁止转载。

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背景介绍


在脊椎动物中,光感细胞(如视杆细胞和视锥细胞)通过光照引发的超极化响应来调节视觉系统的能量消耗,这种特性极大地提升了生物视觉的能效。然而,半导体材料通常表现出光导效应,使得模仿这种生物响应变得复杂,尤其是要在光照下实现“负光电导”特性。传统的2D材料和复杂结构,如范德华异质结等,虽然可以展现部分超极化行为,但制造和集成的难度较大,难以规模化应用。本研究创新性地利用氧化铪(HfO₂)这一常见的过渡金属氧化物材料,开发出一种超薄(5 nm)光感细胞仿生传感器。该传感器基于CMOS兼容的制造工艺,不仅展示了负光电导特性,还具备光适应能力和抗噪声能力,为动态视觉应用提供了新的可能性。


成果简介


本研究首次展示了一种基于超薄氧化铪层(5纳米)的仿生光感细胞传感器。通过对氧化铪中的缺陷进行电应力诱导,该传感器能够在光照下实现负光电导响应,表现出类似于生物光感细胞的“超极化”行为。这种新型传感器在不同光强下具有高度的自适应能力,能够根据光照变化自动调节其敏感度,从而避免过度刺激,这为机器视觉、尤其是动态视觉应用中的能效提升提供了重要基础。此外,研究人员将该传感器整合到动态视觉传感器(DMV)系统中,证明了其在视频流处理、光记忆、快速感光调整等应用中的巨大潜力。在实验中,该传感器在光适应性测试中达到了94.4%的准确率,在人体动作识别任务中取得了96%的高准确率,即使在高噪声条件下,仍能保持出色的表现。


图文导读


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图1展示了生物光感细胞的基础结构及其响应机制。首先展示了脊椎动物视网膜中的不同细胞类型,包括视锥细胞、视杆细胞、水平细胞、双极细胞、无长突细胞和神经节细胞。光信号先经过神经节细胞并最终到达光感细胞,而电信号则从光感细胞传递到神经节细胞,连接至视觉皮层。此外,还描绘了哺乳动物视杆细胞在黑暗与光闪烁条件下的结构示意图。在黑暗中,离子通道开放,维持钠离子的稳态流入;而在光照下,离子通道关闭,导致电流下降。实验也展示了猴子视杆细胞的电流响应。

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图2展示了仿生光感细胞的基本结构及功能。该传感器由一个ITO/Al2O3/HfO₂/TiN的多层堆叠结构组成,氧化铪层为核心光敏材料。通过电应力处理,该传感器能够在光照下实现负光电导响应,类似于生物光感细胞的超极化行为。图中还展示了单个交叉点器件的光学显微镜图像,以及一个3×3的交叉阵列。高分辨率透射电子显微镜(TEM)图像进一步揭示了器件的结构细节,展示了Al2O3封帽层与光敏氧化铪层的活性区域。实验中,传感器在光闪烁前后电流的变化与生物光感细胞的超极化特性高度相似。

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图3展示了动态视觉传感器的光适应特性。实验表明,当该仿生传感器在亮度剧变的情况下,能够快速恢复视觉敏感度,仅需40毫秒即可调整到合适的光照水平。这种快速的光适应性在解决实际场景中的“短暂失明”问题中具有重要应用潜力。以隧道驾驶为例,实验展示了在从隧道驶入强光环境时,传统视觉系统需要较长时间适应,而仿生传感器则能在短时间内恢复视觉功能,显著提升了亮度对比度,避免了视觉系统的光饱和问题。

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图4展示了光感细胞仿生传感器在字母序列识别中的应用。在实验中,研究人员逐步将字母图像序列投射到传感器阵列上,仿生光感细胞根据输入的不同字母序列输出独特的电流响应。该传感器能够记忆输入信号的顺序,表现出与生物视觉系统相似的时间累积特性。实验表明,即使在25%的噪声条件下,系统仍能保持超过90%的字母识别准确率,证明了传感器的鲁棒性和抗噪性能。

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图5展示了仿生光感细胞传感器在动态视觉任务中的表现,特别是在人类动作识别中的应用。研究人员使用含有多种人体动作(如跳跃、奔跑、行走等)的数据集对传感器进行了测试。即使在高噪声条件下,该系统的动作识别准确率仍然达到96%。混淆矩阵进一步显示了该系统在区分类似动作(如跑步与跳跃)中的高效性,这证明了其在处理复杂视频流和高噪声环境下的出色表现,具有广泛的应用潜力。


作者简介


南洋理工大学Ang Diing Shenp教授课题组长期从事场效应半导体器件可靠性的基础研究。近期专注于过渡金属氧化物、硫化物用于阻性存储器的研究,在高性能存储器件、仿生光感细胞传感器件以及神经形态计算器件等方面取得了若干创新性成果。课题组长期招收博士生、博士后,网站:https://ndl-ntu.github.io,联系方式:edsang@ntu.edu.sg.。


李珈毅(第一作者兼通讯作者):南洋理工大学博士研究生,课题方向为视网膜形态半导体器件与高性能存储器件的制备与研究,联系方式:jiayi004@e.ntu.edu.sg。


文章信息


Li J, Guo Y, Ju X, et al. Hyperpolarizing photoreceptor inspired biomimetic energy-saving sensor for dynamic machine vision. Nano Research, 2024, https://doi.org/10.26599/NR.2025.94907057. 




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