二维(2D)材料通过层与层之间的范德华力堆积在一起,在电子、光电子器件和催化在内的多个领域都有潜在应用,备受研究者关注。与传统的零维和一维纳米结构相比,二维纳米片层具有原子级清洁的界面,免除了表面悬挂键(Dangling-bond)的困扰,保证了优异的电荷传输。然而,尽管之前的文献报道了如液相剥离、锂离子插层法等制备二维半导体(例如MoS2)纳米片,其电子器件的性能差强人意。因此通过溶液法制备高质量的、均匀的半导体纳米片材料仍然是一个挑战。
MX2二维材料家族。图片来源:Nat. Chem.[1]
近期,美国加州大学洛杉矶分校(UCLA)段镶锋教授和黄昱教授在Nature 上报道了一种液相制备高品质纯相MoS2等二维半导体纳米片的新策略,并实现了大面积的高性能薄膜晶体管电子器件的构建。该文第一作者是Zhaoyang Lin博士。
直径100 mm的MoS2薄膜及晶体管阵列。图片来源:Nature
锂离子插层法是一种常用的二维半导体纳米片剥离方法,然而在嵌锂过程中,大量的锂离子导致电子注入到MoS2晶体中,发生相变(2H相转变为1T相),电学性能下降。然而,研究者发现导致相变的主要原因是电子注入超过某一阈值(0.29个电子每MoS2单元),那么换句话说,利用半径较大的阳离子插层,可以减少阳离子嵌入数量,从而使注入电子降低到阈值以下,防止相变的发生。于是,研究者选中了季铵盐,例如溴化四庚基铵(THAB)。
MoS2纳米片的制备。图片来源:Nature
首先,MoS2晶体在聚乙烯吡咯烷酮-二甲基甲酰胺(PVP/DMF)溶液中,通过超声处理使其膨胀,随后利用季铵盐阳离子(THAB)插层法和温和条件下的超声处理快速剥离,制备MoS2纳米片。适当浓度的PVP作为稳定剂可以有效防止MoS2重新堆积。随后,将所得产物洗涤,并分散在异丙醇中,可以制得不同浓度、稳定的MoS2分散液(浓度高达~10 mg ml-1)。纳米片的平均厚度为3.8±0.9 nm,尺寸在0.5~2 μm之间。
MoS2纳米片的结构表征。图片来源:Nature
区别于锂离子插层法,这种策略所得MoS2纳米片保留了本征半导体2H晶相,分散液呈绿色。相比之下,锂离子插层法剥离后的MoS2分散液呈黑色,生成了1T晶相。光致发光光谱、XPS、紫外光谱等测试也证实了晶相的差别。由THAB剥离法制得的单个MoS2纳米片组成场效应晶体管,电子迁移率高达~10 cm2•V-1•s-1,电流调制超过五个数量级,相比之下锂离子插层法剥离产物电子迁移率只有0.1 cm2•V-1•s-1,电流调制几乎可以忽略不计。
季铵盐和锂离子插层/剥离制备MoS2纳米片性质对比。图片来源:Nature
这种MoS2纳米片的稳定分散液完全可以作为高质量“半导体油墨”,通过各种溶液加工方法在各种基材上制备大面积薄膜,从而构建大面积MoS2薄膜电子器件。研究者通过旋涂工艺在直径100 mm的SiO2/Si片上制备了大面积高质量MoS2薄膜。再利用标准光刻法和刻蚀过程,制备了背栅MoS2薄膜晶体管,平均迁移率为7~11 cm2•V-1•s-1,开关比为~106。
晶体管的输出曲线统计。图片来源:Nature
为了验证MoS2薄膜晶体管的实用性,研究者制备了逆变器、逻辑门(与非门、或非门、与门、异或门),并成功地演示了基本的逻辑计算。这为MoS2薄膜晶体管基本逻辑门的创建和数字集成电路的组织,开辟了一个新的途径。
MoS2薄膜晶体管构建逻辑门和计算电路。图片来源:Nature
总之,研究者利用季铵盐插层和剥离的策略,制备出高质量MoS2纳米片并成功地应用于大面积薄膜电子器件,可用于构建数字集成电路。类似地,WSe2、Bi2Se3、NbSe2、In2Se3、Sb2Te3和黑磷也可以通过类似方法处理,制备出可溶液加工的二维半导体纳米片,以建立具有不同功能的二维材料库,为大规模制备大面积下一代电子器件和光电子器件提供了新的方向。
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Solution-processable 2D semiconductors for high-performance large-area electronics
Nature, 2018, 562, 254–258, DOI: 10.1038/s41586-018-0574-4
参考文献:
1. Chhowalla M, Shin H S, Eda G, et al. The chemistry of two-dimensional layered transition metal dichalcogenide nanosheets, Nat. Chem., 2013, 5, 263-275.
(本文由小希供稿)
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