2023年7月17日,省专家服务中心关于2023年度四川省留学回国人员科技活动项目择优资助和四川省留学人员回国创业启动支持计划拟资助项目的公示,夏园林老师申报的“高性能低成本MEMS扫描微镜芯片开发——启动类”项目申报成功。
“高性能低成本MEMS扫描微镜芯片开发”项目属于高端微镜芯片研究及其应用,其研究内容为:通过引入裸硅制造工艺和全包覆非晶碳膜技术,屏蔽硅微结构表面缺陷并提供增强相,展开从增韧材料、全包覆涂层器件构筑方法、界面调控到规模化加工的系统研究。本研究通过全新的工艺技术,来提升微镜各项性能,降低基于微镜的光学设备的额外硬件附加成本。
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http://rst.sc.gov.cn//rst/gsgg/2023/7/17/1581e9b0351a4bed9c0834725c8b8075.shtml
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