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中科院物理研究所—N09:半导体量子材料与器件
纳米物理与器件实验室
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STM完成腔体升级
发布时间:2020-04-01
STM在原有腔体基础上进行改造,新增了样品处理腔体,装配氩离子枪,用于离子轰击样品表面做表面处理,现已装配完毕进入调试阶段。