14821
当前位置: 首页   >  本组设备
本组设备

本组拥有ICP,变温光致荧光光谱仪(卓立汉光,PL,8-300K),太阳能电池外量子效率测试设备(卓立汉光),变波长光源(200-2500nm),飞秒光纤激光器(德国Toptica),THz功率计(高莱盒,俄罗斯Tydex),高真空热蒸发镀膜设备(北京泰科诺),光刻机(45所),半导体激光切割设备,超声金丝球焊机,双温区和三温区(无线程控)CVD(自改造,可进行高纯材料制备),高压等离子体电化学系统(自搭建,带在线光谱测试光谱仪,可进行纳米颗粒在线吸收光谱测试,研究反应机理),微区荧光和微区光谱设备(自搭建),纳米线转移设备(自搭建),匀胶机,烘箱,高速离心机,真空干燥等。我组所在实验室拥有百级和万级超净间,磁控溅射,电子束蒸发,Keithley4200及探针台,去胶机,电化学工作站,RIE,激光直写系统,IBE等。

我组部分设备照片:

1. ICP, 全自动感应耦合等离子体刻蚀机

2. 变温光致荧光光谱PL



3. 太阳能电池外量子效率测试设备


4. 真空热蒸镀系统(北京泰科诺)


5. 双温区和三温区(无线程控)CVD


6. 超声金丝球焊机


7. 光刻机


8. 激光切割机


9. 高压等离子体系统