研究方向 - 晶体生长动力学研究组

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研究方向

多尺度建模与仿真
流体动力学与传热传质
光伏用单晶硅和多晶硅晶体生长
大尺寸电子级单晶硅晶体生长及装备设计与制造
大尺寸第三代半导体SiC与GaN晶体生长及装备设计与制造
大尺寸半导体金刚石晶体生长