扫描探针显微镜（Scanning Probe Microscope, SPM, Oxford Instrument)

两台准分子激光器（Two Excimer Lasers, Compex 205, LPX 300）

两台脉冲激光沉积（Two Pulsed Laser Deposition Chambers）

磁控溅射仪（Sputtering）

等静压烧结（Hot Isostatic Pressing, HIP）