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IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing
基本信息
期刊名称 IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing
IEEE T SEMICONDUCT M
期刊ISSN 0894-6507
期刊官方网站 https://ieeexplore.ieee.org/xpl/RecentIssue.jsp?punumber=66
是否OA No
出版商 Institute of Electrical and Electronics Engineers Inc.
出版周期 Quarterly
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始发年份
年文章数 74
影响因子 2.3(2023)  scijournal影响因子  greensci影响因子
中科院SCI期刊分区
大类学科 小类学科 Top 综述
工程技术4区 ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC 工程:电子与电气4区
ENGINEERING, MANUFACTURING 工程:制造4区
PHYSICS, APPLIED 物理:应用4区
PHYSICS, CONDENSED MATTER 物理:凝聚态物理4区
CiteScore
CiteScore排名 CiteScore SJR SNIP
学科 排名 百分位 5.2 0.967 1.237
Engineering
Industrial and Manufacturing Engineering
114/384 70%
Physics and Astronomy
Condensed Matter Physics
131/434 69%
Materials Science
Electronic, Optical and Magnetic Materials
89/284 68%
Engineering
Electrical and Electronic Engineering
250/797 68%
补充信息
自引率 13%
H-index 59
SCI收录状况 Science Citation Index Expanded
官方审稿时间 登录后查看
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接受率 登录后查看
PubMed Central (PMC) http://www.ncbi.nlm.nih.gov/nlmcatalog?term=0894-6507%5BISSN%5D
投稿指南
期刊投稿网址 http://mc.manuscriptcentral.com/tsm-ieee
收稿范围
The IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing addresses the challenging problems of manufacturing complex microelectronic components, especially very large scale integrated circuits (VLSI). Manufacturing these products requires precision micropatterning, precise control of materials properties, ultraclean work environments, and complex interactions of chemical, physical, electrical and mechanical processes. 
收录体裁
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参考文献格式
编辑信息

                                
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