课题组立足于服务好材料微纳尺度上基础与应用研究的多样性需求，紧紧围绕微流控芯片、智能感知材料等领域，搭建成近 250m2的千级、百级超净实验室，建成较完备的集工艺加工与器件表征于一体的材料微纳科研平台，拥有先进、完善的材料制备与宏观、微观物性表征装备，具体如下：
微纳加工装备：紫外光刻机、无掩膜直写光刻机、匀胶机、烤胶机、磁控溅射薄膜沉积仪、紫外激光切割机、3D打印机、丝网印刷仪、纳米沉积系统
物性表征装备：微区X射线衍射系统、扫描电子显微镜、高效液相色谱、红外、激光共聚焦显微镜、原子力显微镜、台阶仪、荧光显微镜等等
台阶仪
质谱仪
磁控溅射仪
纳米沉积-405
紫外光刻机
红外光谱仪
