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武汉大学 先进光刻课题组
武汉大学工业科学研究院先进光刻课题组
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导师介绍
桂成群
国家级特聘专家 教授 博士生导师
个人介绍 :
桂成群教授本硕毕业于清华大学,1986年-1993在清华大学担任助教及讲师等职务。1998年博士毕业于荷兰University Twente。1999年加入ASML(阿斯麦)历任高级系统工程师、技术市场经理、战略事业部项目经理,在光刻机研发、项目管理等方面有着资深的业界声望与经验。申请国际专利近100项次(其中授权40余项美国专利)。2010.1至今任荷兰SIMAX 总裁,从事激光直写光刻机的开发工作。2019年加入武汉大学工业科学研究院,从事微纳制造、机电一体化、柔性传感与显示器件等方向,主持国家家重点研发计划—激光高性能连接技术与装备的科研工作,并参与国家重大科研仪器研制项目薄膜生长缺陷跨时空尺度原位/实时监测与调控实验装置。在国际期刊先后发表论文30余篇。
冀然
国家级特聘专家 客座教授
个人介绍 :
冀然,青岛天仁微纳科技有限责任公司董事长,创始人。拥有德国亚琛工业大学硕士学位和德国马普微结构物理所博士学位,师从欧洲纳米压印之父 Kurz教授开创了纳米压印设备和材料的商用领域,在纳米压印和微纳加工领域拥有二十年经验。博士毕业后在德国半导体设备上市公司负责纳米压印设备开发和产业化推广, 任纳米压印技术首席科学家。 2015 年归国创办青岛天仁微纳科技有限责任公司,经过短短几年的时间发展,公司的纳米压印设备和全套解决方案打败国际诸多竞争对手,占领国内微纳光学和生物芯片生产的超过 90%市场份额。
当前组员
胡洪坡
博士研究生
万辉
博士研究生
赵强
博士研究生
栾世奕
博士研究生
彭飞
博士研究生
杨德坤
博士研究生
曹皓
博士研究生
杨泽宇
硕士研究生
邓鸿峰
硕士研究生
唐斌
博士生