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研究方向

研究方向具体包括:

(1) 闭环反馈式激光微加工工艺与装备。研发融合在线3D测量、在线过程监测系统的激光微加工系统,通过对加工过程的反馈控制,大幅提高复杂场景下的加工精度和一致性。

(2) 激光转印工艺与装备。基于激光转印工艺,研发专用的转印材料体系、配套工艺和专用装备,实现微尺度金属线路和三维结构成型。

(3) 热功能表面激光制造技术。随着电子器件的小型化和高性能化,紧凑空间的散热问题面临严峻挑战。各类基于两相相变原理的散热技术成为解决该挑战的主要技术路线之一。实验室围绕两相相变换热强化,开发各类激光表面微结构制造手段,并对表面传热、传质过程的调控机理与方法开展系统理论和应用研究。