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研究方向

研究方向具体包括:

(1) 闭环反馈式激光微加工工艺与装备。研发融合在线3D测量、在线过程监测系统的激光微加工系统,通过对加工过程的反馈控制,大幅提高复杂场景下的加工精度和一致性。

(2) 激光转印工艺与装备。基于激光转印工艺,研发专用的转印材料体系、配套工艺和专用装备,实现微尺度金属线路和三维结构成型。目前可实现结构尺度15μm,高度超150μm的金属结构成型。

(3) 数字振镜技术。开发基于光栅编码器和数字PWM控制的扫描振镜,光栅尺信号直接反馈控制器,进行构成全闭环的数字控制,其响应速度相较于传统控制方式提高一倍以上。不同于国内普遍的±15供电形式,实验室开发的振镜技术支持宽电压输出,具有自发热低、长期温漂小、高速高精等特点,可满足各类苛刻应用需求。