微机电系统（MEMS）、微能源器件与系统、压电与超声，纳米材料与器件。
包括：
1．微机电系统：微纳传感器与驱动器
2．微能源器件与系统（包括微纳材料制备与表征、器件与系统的微加工制造与运行测试）
1）全固态微型薄膜锂离子电池
2）微型燃料电池
3）微型核电池
4）超级电容器
3．压电陶瓷薄膜材料与压电微纳米结构的制备及器件与系统