课题组现有：

超高真空11靶磁控溅射: 可实现高品质非磁、铁磁、亚铁磁和反铁磁金属、氧化物、氮化物等生长

离子束刻蚀（RIBE-SIMS）系统：可实现金属、半导体、绝缘体的氩离子和化学气氛辅助刻蚀以及刻蚀深度和元素深度分布的二次离子质谱SIMS实时检测.

矢量磁场探针台：可通过自旋扭矩铁磁共振、谐波电压响应、磁滞漂移、磁矩翻转等方法研究磁性材料和自旋器件对3维磁场、交直流、超短脉冲、微波等的响应，实现自旋体系的多场调控和自旋轨道矩、电致翻转、磁阻尼因子、DMI等快速精确测量

磁光克尔显微镜：在3D磁场下对磁畴成像

低维材料电动转移台-手套箱-显微镜联合系统：可在Ar气环境剥离、转移、堆叠、存储和观测低维材料和器件

紫外光刻机：可实现4英寸晶圆级器件阵列制备

Oxygen plasma etcher：可实现4英寸晶圆的等离子清洗和刻蚀等

甩胶机：4英寸及以下晶圆的光刻胶、电子束胶等

通风橱：样品和器件的清洗等

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更多设备on the way

依托平台共享设备平台：

分子束外延、PPMS、TEM、电子束曝光、氩离子刻蚀等