现有工作条件
1.材料合成实验室
2.热处理实验室
CVD系统
原子层沉积系统
3.电化学实验室
手套箱
电化学工作站
蓝电测试系统
等离子清洗器
光催化色谱系统
电感耦合等离子体
关键测试平台
原子分辨率球差校正电子显微镜(JEOL Grand Arm 300F)
透射电镜原位样品杆(DENS Lightning ): 1300℃(高温芯片);100kV/cm@900℃ (电学芯片)
Chipnova(超新芯)液体电化学原位系统
原位拉曼测试平台
FIB-SEM
HRTEM