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个人简介

招生专业 080903-微电子学与固体电子学 080821-微纳电工技术 080502-材料学 招生方向 键合集成技术 MEMS传感器集成 三维集成与系统封装 教育背景 2005-04--2008-03 日本 东京大学 博士 2003-04--2005-03 日本 东京大学 硕士 2002-04--2003-03 日本 东京大学 研修生(Reseach Student) 1994-09--1998-07 哈尔滨工业大学 本科 工作简历 2015-01~现在, 中国科学院微电子研究所, 研究员 2011-04~2015-03,日本 东京大学, 特任研究员 2010-12~2011-03,日本物质材料机构, 博士后研究员 2008-09~2010-11,日本 东京大学, 日本学术振兴会外国人特别研究员 2008-04~2008-08,日本 东京大学, 特任研究员 2001-01~2002-03,精量(深圳)电子有限公司, 工程师 1998-10~2001-01,斯比泰(深圳)电子有限公司, 工程师 1998-07~1998-09,东江(深圳)塑胶制品有限公司, 工程师 奖励信息 (1) ****, 院级, 2015 专利成果 ( 1 ) 一种半导体芯片及半导体芯片的封装方法, 发明, 2017, 第 3 作者, 专利号: 201711384461.3 ( 2 ) 一种半导体芯片, 实用新型, 2017, 第 3 作者, 专利号: 201721793536.9 科研项目 ( 1 ) 中国科学院微电子所 所长基金, 主持, 市地级, 2015-04--2020-03 ( 2 ) 中国科学院访问学者计划, 参与, 研究所(学校), 2016-01--2016-12 ( 3 ) 器件图形结构的III-V族外延层与带有器件图形结构的SiGe/Ge外延片通过金属为媒介的键合, 参与, 国家级, 2015-08--2016-05 ( 4 ) 中国科学院****, 主持, 市地级, 2015-12--2018-12 ( 5 ) 高性能氮化镓芯片封装与可靠性技术研究, 主持, 省级, 2017-07--2019-06 ( 6 ) 应用于化合物功率器件封装的低温键合方法的开发, 参与, 省级, 2017-01--2019-12

近期论文

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(1) A Modified Low-temperature Wafer Bonding Method using Spot Pressing Bonding Technique and Water Glass Adhesive Layer, The Japanese Journal of Applied Physics, 2018, 第 3 作者 (2) Feasibility Study of All-SiC Pressure Sensor Fabrication without Deep Etching, Proceedings of International Conference on Electronics Packaging and iMAPS All Asia Conference, 2018, 第 4 作者 (3) Preparation of pine-like Cu-Ni-P coating and its application in 3D integration, Proceedings of The 18th International Conference on Electronic Packaging Technology, 2017, 第 2 作者 (4) A Modified Water Glass Adhesive Bonding Method using Spot Pressing Bonding Technique, Proceedings of the 5th International Workshop Low Temperature Bonding for 3D Integration, 2017, 第 3 作者 (5) Combined Surface Activated Bonding Technique for Low-Temperature Cu/Dielectric Hybrid Bonding, ECS Journal of Solid State Science and Technology, 2016, 第 4 作者 (6) A new wafer bonding method based on spot pressing technique, Trans. Chin. Welding Inst., 2016, 第 4 作者 (7) Surface Activated Bonding Method Applied in MEMS Pressure Sensor with TSV Structures, Proceeding of the 4th IEEE International Workshop on Low Temperature Bonding for 3D Integration, 2014, 第 2 作者 (8) Influence of Diffusion on Solid-state Bonding for Micro-bumps at Low Temperatures, Proceeding of IEEE CPMT Symposium Japan, 2013, 第 1 作者

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