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个人简介

2000年3月-2003年9月西安交通大学获微电子学与固态电子学专业博士学位 2004年2月-2006年2月传感技术国家重点实验室博士后; 2006年2月—今中国计量大学教师 其他在研课题 (1)国家自然科学基金面上项目—基于谐振-力平衡复合检测机理低交叉灵敏度三轴数字加速度传感器研究(61376114). (2)国家自然科学基金面上项目—新型薄膜热电变换器热电转换理论及制作工艺研究(51377025)。 获奖情况 2006年入选中国计量学院123人才计划(第一层次); 2007年入选浙江省新世纪151人才 2013年入选浙江省中青年学科带头人。 主持完成的科研项目 1、微机械谐振式红外探测器理论及制作工艺研究,国家自然科学基金面上项目(61076110)。 2、基于微桥谐振器的新型红外探测器理论及关键技术研究,浙江省自然科学基金(Y1080072) 3、浙江省高等学校中青年学科带头人学术攀登项目—基于掩膜—无掩膜腐蚀工艺的谐振式加速度计设计理论与关键技术研究。 4、浙江省“仪器科学与技术”重中之重学科开放基金—新型高灵敏度热流量传感器理论及关键技术研究。

研究领域

微型传感器;检测技术;传感器测试电路

近期论文

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1.Wenju Niu, Rongyu Huang, Jianqiang Han, et al. A dual-axis bulk micromachined resonant accelerometer with low cross-axis sensitivity fabricated with masked-maskless etching. IEEE sensors journal, 2018, 19(1): 78-87.(SCI、EI检索) 2.Jianqiang Han, Zhengqian Zhao, Wenju Niu, et al. A low cross-axis sensitivity piezoresistive accelerometer fabricated by masked-maskless wet etching. Sensors and actuators A: physical, 2018, 283: 17-25. (SCI、EI检索) 3.Jianqiang Han, Rongyu Huang, Peng Zhang, et al. A novel film thermal converter based on an electrothermally excited/piezoresistively detected microbridge resonator, IEEE transactions on instrumentation and measurement, 2018, 67(12): 2854-2862.(SCI、EI检索) 4.Lizhen Dong, Jianqiang Han, Peng Zhang, et al. An improved resonant thermal converter based on microbridge resonator, Metrology and measurement system, 2018, 25(4): 715-725.(SCI、EI检索) 5.Jianqiang Han, Yongsheng Zhu, Gonghao Tao, et al. A triaxial accelerometer based on differential resonant beams and force-balanced capacitive plates. IEEE sensors journal, 2019. IEEE Sensors Journal,19(16):6602-6609.(SCI、EI检索) 6.Jianqiang Han, Yi Jun Yin, Dong Han and LiZhen Dong,Improved PECVD SixNy flm as a mask layer for deep wet etching of the silicon,Mater. Res. Express,(2017) 096301.(SCI、EI检索) 7.Jie Zhang, Jianqiang Han, Yijun Yin, Lizhen Dong, and Wenju Niu, Study on the failure temperature of Ti/Pt/Au and Pt5Si2-Ti/Pt/Au metallization systems, Journal of Semiconductors,2017,38(9): 096005.(EI检索) 8.BingCheng,YijunYin,JianqiangHan,andJieZhang, The TCR of Ni24.9Cr72.5Si2.6 thin films deposited by DC and RF magnetron sputtering, Journal of Semiconductors,2017,38(5): 053005.(EI检索)

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