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多晶钙钛矿衬底上 SrMnO3-x 薄膜的外延相稳定性
Crystal Growth & Design ( IF 3.2 ) Pub Date : 2021-07-22 , DOI: 10.1021/acs.cgd.1c00429
Catherine Zhou 1 , Gregory S. Rohrer 1 , Marc De Graef 1 , Paul A. Salvador 1
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组合衬底外延 (CSE) 用于研究 SrMnO 3的三层立方 (3C) 和四层六方 (4H) 钙钛矿多晶型物之间的外延相竞争。薄膜沉积在多晶 3C-SrTiO 3和 4H-SrMnO 3 上衬底作为衬底取向、温度和氧气压力的函数。使用基于字典的索引技术分析电子背散射衍射数据,以确定共晶取向关系 (OR) 是所有条件和基板上两种多晶型物的首选外延取向。发现衬底温度的升高和氧压的降低将支持 3C 生长的衬底取向范围从 (100) 扩展到 (110),最后扩展到 (111),此时 3C 作为所有 SrTiO 上的稳定相出现3 个基板方向。在这些条件下,亚稳态 4H 相随后在 4H-SrMnO 3 的非基础取向上外延稳定. 这些结果突出了 CSE 如何用于理解相竞争和制备新型亚稳态外延薄膜。



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更新日期:2021-08-04
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