微型电子发射器由于在真空电子领域的应用前景而被研究了半个世纪。然而，具有快速时间响应和可控电子发射的可调谐微制造电子发射器仍然被证明具有挑战性。在这里，我们报道了使用微细加工技术和焦耳加热的微尺度石墨烯薄膜作为灯丝，将热电子发射体的尺寸缩小到了微尺度。适度的栅极电压使石墨烯微发射极的发射电流具有高达六个数量级的可调性。石墨烯微发射器的导通/关断时间小于1μs，表明其开关速度比其体积较大的同类器件快约五个数量级。重要的，石墨烯微发射极的发射性能可通过微细加工技术通过工程石墨烯尺寸来控制和再现，这使我们能够制造出具有均匀发射性能的石墨烯微发射体阵列。石墨烯微发射器为实现用于真空电子应用的大规模可寻址微发射器阵列提供了机会。



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